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Entwicklung und Produktion von Wafern aus Reinstsilicium mit Durchmessern bis zu 300 mm.
Halbleitermaterialien für elektronische Bauelemente
Siliziumwafer
Tobias Ohler (Vors.)
Christoph von Plotho (Vors.) Raine Irle
HRB 150884, München
DE 177 563 163